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12寸全自动软焊料固晶机SD8312和手册资料
首页 >半导体设备图纸 >先进封装:固晶-焊线-TCB 2026-05-11 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]分享好友可以免费下载哦!0
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图纸描述

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12 寸软焊料固晶机(也称软锡固晶机)是半导体封装设备,采用锡焊加热方式将 12 英寸(300mm)晶圆上的芯片(如 MOSFET、IGBT、功率 IC)贴装到引线框架或基板上,形成欧姆接触与可靠焊接,主要用于功率器件封装(TO‑220、TO‑247、DPAK、SOT223 等)。

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二、核心工艺原理

  • 软焊料:通常为锡基合金(如 SnAgCu),熔点低、延展性好,加热熔化后实现芯片与基板的冶金结合。

  • 固晶流程

  1. 晶圆上料(12 寸,兼容 8/6 寸)→ 扩晶 → 芯片拾取;

  2. 基板 / 框架上料 → 点锡 / 画锡 → 视觉定位;

  3. 芯片贴放(压力 30–500g)→ 加热固化(多温区控温)→ 冷却下料。

关键指标空洞率(单颗<2%,总面积<5%)、固晶精度(X‑Y<±40μm,角度<±2°)、点锡厚度25–75μm。

三、主流设备与关键参数

  • 晶圆尺寸:12 寸(兼容 8/6 寸);

  • 精度:X‑Y<±40μm,角度<±2°;

  • 产能:4–9K UPH;

  • 温区:八温区独立控温;

  • 空洞率:单颗<2%,总面积<5%

四、核心技术特点

  1. 12 寸晶圆处理:自动换片、扩晶、拾取,兼容大尺寸量产;

  2. 高精度视觉系统:双相机定位,芯片 / 框架识别,角度自动补偿(360° 旋转);

  3. 精密锡焊控制:焊料去氧化、压力可编程(30–500g)、厚度闭环控制;

  4. 多温区加热:8 温区独立控温,适配不同锡膏曲线,降低空洞;

  5. 自动化上下料:弹匣式 / 堆叠式上料,双轨并行提升产能。

五、应用场景

  • 功率半导体:MOSFET、IGBT、SiC/GaN 器件;

  • 封装形式:TO‑220、TO‑247、DPAK(TO‑252)、SOT‑223、PPAK;

  • 基板类型:铜框架、陶瓷基板、DCB/AMB 基板。


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图纸信息
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软件版本:2020
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