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12 寸软焊料固晶机(也称软锡固晶机)是半导体封装设备,采用锡焊加热方式将 12 英寸(300mm)晶圆上的芯片(如 MOSFET、IGBT、功率 IC)贴装到引线框架或基板上,形成欧姆接触与可靠焊接,主要用于功率器件封装(TO‑220、TO‑247、DPAK、SOT223 等)。

软焊料:通常为锡基合金(如 SnAgCu),熔点低、延展性好,加热熔化后实现芯片与基板的冶金结合。
固晶流程:
晶圆上料(12 寸,兼容 8/6 寸)→ 扩晶 → 芯片拾取;
基板 / 框架上料 → 点锡 / 画锡 → 视觉定位;
芯片贴放(压力 30–500g)→ 加热固化(多温区控温)→ 冷却下料。
关键指标:空洞率(单颗<2%,总面积<5%)、固晶精度(X‑Y<±40μm,角度<±2°)、点锡厚度25–75μm。
晶圆尺寸:12 寸(兼容 8/6 寸);
精度:X‑Y<±40μm,角度<±2°;
产能:4–9K UPH;
温区:八温区独立控温;
空洞率:单颗<2%,总面积<5%
12 寸晶圆处理:自动换片、扩晶、拾取,兼容大尺寸量产;
高精度视觉系统:双相机定位,芯片 / 框架识别,角度自动补偿(360° 旋转);
精密锡焊控制:焊料去氧化、压力可编程(30–500g)、厚度闭环控制;
多温区加热:8 温区独立控温,适配不同锡膏曲线,降低空洞;
自动化上下料:弹匣式 / 堆叠式上料,双轨并行提升产能。
功率半导体:MOSFET、IGBT、SiC/GaN 器件;
封装形式:TO‑220、TO‑247、DPAK(TO‑252)、SOT‑223、PPAK;
基板类型:铜框架、陶瓷基板、DCB/AMB 基板。

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