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带加热的晶圆CHUCK主动调平系统
首页 >半导体设备图纸 >核心部件:Stage-chuck-运控 2026-04-30 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]分享好友可以免费下载哦!0
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图纸预览图
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图纸描述

带加热设计的主动调平台,用于晶圆探针检测设备,有主动调平机构,满足晶圆翘曲的应用!精度高!且有顶针系统!搭配loadport手指使用完成上下料!

图纸可以编辑有参数,有些部分是一个整体测绘出来的(比例有差异)!仅供用来了解这种平台的原理!

下载需要19金币 推广可免费下载
图纸信息
图纸ID :158
文件大小:47.19M
所需金币:19
图纸参数:可编辑,包含特征参数
图纸格式:sldprt
软件版本:2025
作者
用户XY0cKu
已分享: 80 份作品
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文件列表
# 文件名称 大小
1 软件图标9 semimodel.com调平台/chamber module.zip 46.93M
2 软件图标9 semimodel.com调平台/半导体设备图纸更多下载www.semimodel.com - 副本.pdf 290.75K
3 软件图标9 semimodel.com调平台 0B
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