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带加热设计的主动调平台,用于晶圆探针检测设备,有主动调平机构,满足晶圆翘曲的应用!精度高!且有顶针系统!搭配loadport手指使用完成上下料!
图纸可以编辑有参数,有些部分是一个整体测绘出来的(比例有差异)!仅供用来了解这种平台的原理!