图纸SW2025设计，有参数可以编辑，零件的材料也有！非常详细！对想了解FOUP的十分有价值！
12 寸 FOUP（Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒），是 300mm（12 寸）晶圆厂标准密封载具，用于在洁净室与 AMHS（自动物料搬运系统）中安全、无尘、防静电地传输与暂存晶圆，是连接光刻 / 刻蚀 / 沉积 / 离子注入等设备的核心 “晶圆集装箱”。
工序位置：晶圆→FOUP→Load Port→设备工艺→FOUP→下一站
核心价值：
微环境隔离：内部 Class 1 级洁净，防颗粒 / 湿气 / 金属污染
ESD 防护：全导电结构，保护晶圆与电路
自动化适配：无缝对接 OHT 天车、AGV、Load Port
制程区分：按前 / 后段、金属 / 非金属工艺专用，不可混用
外形尺寸：440×348×338mm（长 × 宽 × 高）
容量：标准25 槽（25 片），常用 26 槽（含 1 片保护假片）
槽距：10mm（SEMI 标准）
重量：空盒≈4.3kg；满载≈7.3kg
温度范围：-10℃～80℃（覆盖绝大多数制程）
主体框体：高纯度导电 PC + 碳纤维（ESD 防静电，表面电阻 10⁶–10¹¹Ω），低释气、低发尘。
前开密封门：双重氟橡胶密封，防微尘 / 湿气；由 Load Port 自动开锁 / 闭门。
顶部 OHT 法兰（蘑菇头）：标准接口，供天车自动抓取 / 搬运。
内部晶圆槽（Pocket）：PEEK 材质，耐高温、耐磨、低释气，精准定位晶圆。
底部底座：4 个定位孔 +RFID 标签，用于机台识别、定位与追溯。
侧把手：颜色区分制程（如前段蓝色、后段红色），防交叉污染。
主体：导电 PC + 碳纤维（SEMI S8 防静电）
晶圆支撑：PEEK（耐高温、低释气、耐磨）
密封件：氟橡胶（耐温、低析出）
洁净度：内部Class 1（≤1 颗 0.1μm 颗粒 / 立方英尺）
防静电：全路径导电，无死角静电防护
日本 Miraial（未来工业）：全球市占≈70%，KT3003为行业标杆。
国产：中勤实业、兴宇宏、至臻精密；性价比高，成熟制程已批量替代。
其他：美国 Entegris、韩国 Sunic System。
| # | 文件名称 | 大小 |
|---|---|---|
| 1 | 
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/12寸FOUP组件.SLDASM
|
3.01M |
| 2 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/Carrier Wafer-12寸.SLDPRT
|
2.65M |
| 3 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/F300 AutoPod Wafer Carrier1310-0859.pdf
|
556.59K |
| 4 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-12寸卡槽A.SLDPRT
|
383.72K |
| 5 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-12寸卡槽B.SLDPRT
|
451.89K |
| 6 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-12寸标牌.SLDPRT
|
248.46K |
| 7 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-前盖组件.SLDASM
|
354.72K |
| 8 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-外壳组件.SLDASM
|
427.97K |
| 9 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-定位盘.SLDPRT
|
187.97K |
| 10 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-对接法兰.SLDPRT
|
395.92K |
| 11 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-底座.SLDPRT
|
866.37K |
| 12 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-把手A.SLDPRT
|
845.95K |
| 13 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-把手B.SLDPRT
|
1012.25K |
| 14 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP-清单卡槽.SLDPRT
|
505.3K |
| 15 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/FOUP外壳体.SLDPRT
|
1.58M |
| 16 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/TBC15-M4-L8.sldprt
|
220.77K |
| 17 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/凸轮拨叉.SLDPRT
|
119.76K |
| 18 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/前盖.SLDPRT
|
323.32K |
| 19 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/前盖封板.SLDPRT
|
208.81K |
| 20 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/插销A.SLDPRT
|
98.03K |
| 21 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/插销B.SLDPRT
|
113.22K |
| 22 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒/边缘卡槽.SLDPRT
|
813.48K |
| 23 |
12寸FOUP前开式晶圆传送盒
|
0B |
