1.来自韩国的原装图纸,砂轮刀片切割!采用双头切割设计,大理石机架,自动上下料,带清洗结构!目前成熟设备1视频为图纸生产的原机!晶圆采用夹持和吸附式!高精度XYW平台!
2.图纸为STP格式!赠送切割设备资料一套!
目前市场上主要存在三种核心切割工艺:刀片切割 (Blade Dicing)、激光切割 (Laser Dicing)和等离子切割 (Plasma Dicing)
刀片切割 (Blade Dicing)最为主流:最传统的加工方式。利用金子石颗粒涂层的超薄电铸刀片,以每分钟几万转的高速旋转进行机械磨削。
优点: 成本低、效率高,适用于厚晶圆(如硅、玻璃、陶瓷)。
局限: 容易产生崩边(Chipping)和裂纹,且由于刀片厚度限制,划切道宽度(Kerf loss)较大。

一台高性能的晶圆切割机通常集成以下高精度模块:
| 核心组件 | 技术要点 |
| 空气静压主轴 (Air Spindle) | 要求极高的旋转精度和超低振动,防止刀片回转误差导致崩边。 |
| 视觉对准系统 (CCD Vision) | 自动识别晶圆上的划切线,补偿晶圆的角度偏差(Theta校正)。 |
| 微步进进给系统 | 精度通常达到亚微米($\mu m$)级别,确保切割路径的直线度。 |
| 水冷与清洗系统 | 切割过程中需喷淋去离子水(DI Water),起到冷却刀片和带走硅屑的作用。 |
| # | 文件名称 | 大小 |
|---|---|---|
| 1 | 16.33M | |
| 2 | 5.71M | |
| 3 | 832.88K | |
| 4 | 1.14M | |
| 5 | 394.73M | |
| 6 | 67.42M | |
| 7 | 3.68M | |
| 8 | 18.92M | |
| 9 | 1.22M | |
| 10 | 1.83M | |
| 11 | 978.81K | |
| 12 | 2.08M | |
| 13 | 507.11K | |
| 14 | 290.75K | |
| 15 | 0B |