客服
晶圆切割机
首页 >半导体设备图纸 > 晶圆切割:划片-切割 2026-04-23 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]分享好友可以免费下载哦!0
0
11
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸描述

1.来自韩国的原装图纸,砂轮刀片切割!采用双头切割设计,大理石机架,自动上下料,带清洗结构!目前成熟设备1视频为图纸生产的原机!晶圆采用夹持和吸附式!高精度XYW平台!

2.图纸为STP格式!赠送切割设备资料一套!

3. 切割技术主流分类

目前市场上主要存在三种核心切割工艺:刀片切割 (Blade Dicing)、激光切割 (Laser Dicing)和等离子切割 (Plasma Dicing)

  • 刀片切割 (Blade Dicing)最为主流:最传统的加工方式。利用金子石颗粒涂层的超薄电铸刀片,以每分钟几万转的高速旋转进行机械磨削。

    • 优点: 成本低、效率高,适用于厚晶圆(如硅、玻璃、陶瓷)。

      局限: 容易产生崩边(Chipping)和裂纹,且由于刀片厚度限制,划切道宽度(Kerf loss)较大。

      33810_qgmx_8327.jpg

      4. 核心组件与技术指标

    • 一台高性能的晶圆切割机通常集成以下高精度模块:

    • 核心组件技术要点
      空气静压主轴 (Air Spindle)要求极高的旋转精度和超低振动,防止刀片回转误差导致崩边。
      视觉对准系统 (CCD Vision)自动识别晶圆上的划切线,补偿晶圆的角度偏差(Theta校正)。
      微步进进给系统精度通常达到亚微米($\mu m$)级别,确保切割路径的直线度。
      水冷与清洗系统切割过程中需喷淋去离子水(DI Water),起到冷却刀片和带走硅屑的作用。


下载需要39金币 推广可免费下载
图纸信息
图纸ID :95
文件大小:182.2M
所需金币:39
图纸参数:可编辑,不包含特征参数
图纸格式:STEP
软件版本:2025
作者
用户XY0cKu
已分享: 18 份作品
作者头像
关注
文件列表
# 文件名称 大小
1 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/100多页disco培训资料_wafersaw_training_0.pdf 16.33M
2 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/170多页‘’薄脆晶圆的切割研究.pdf 5.71M
3 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/DAD321_UserManual.pdf 832.88K
4 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/DFD6000 Series刀痕检测.pdf 1.14M
5 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/DICING SAW TOTAL ASSY.STEP 394.73M
6 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/DICING SAW _MV_V1.mp4 67.42M
7 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/DICSO Tech_Briefing_2023.pdf 3.68M
8 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/DISCO 晶圆切割机资料.pdf 18.92M
9 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/Disco-DAD-3220-Dicing-Saw-SOP.pdf 1.22M
10 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/Disco-Dicing-Saw-3350操作SOP-v2.pdf 1.83M
11 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/disco_grinder_DAG810user_instructions.pdf 978.81K
12 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/Thermal Laser Separation – TLS.pdf 2.08M
13 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/Wafer Dicer DAD-3221SOP v.1.pdf 507.11K
14 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料/半导体设备图纸更多下载www.semimodel.com.pdf 290.75K
15 软件图标9 晶圆切割机3D图纸和DISCO切割机一些资料 0B