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磁控溅射镀膜机3D模型和2D工程图
首页 >半导体设备图纸 >晶圆制造:镀膜-PVD-CVD 2026-09-29 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]上传图纸即可免费下载哦!0
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图纸描述

磁控溅射是一种先进的物理气相沉积(PVD)技术。其核心机制在于通过电场与正交磁场的协同作用,将工作气体(如氩气)电离为高密度的等离子体。高速正离子在阴极电场驱动下轰击靶材表面,使靶原子或分子获得动能并“溅射”出来,最终在基底表面沉积形成致密薄膜。

核心系统架构

一个典型的磁控溅射系统主要由以下几个关键模块构成:

  • 真空与气路系统:维持高纯度沉积环境,基础真空通常需达到 $10^{-3} \text{ Pa}$ 甚至更高量级。

  • 阴极磁控靶组件:内置永磁体阵列或电磁铁,在靶表面形成闭合的隧道状磁场,用于约束二次电子。

  • 电源与匹配网络:根据靶材导电性与工艺需求,配置直流(DC)、射频(RF)或高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)电源。

  • 基底台与偏压控制:用于调节基底温度、工件旋转及施加负偏压,以优化薄膜的应力和附着力。

磁控溅射的技术优势

  • 高电离率与沉积速率:磁场对电子的螺旋状约束显著延长了其运动轨迹,提高了气体电离效率,实现较低气压下的高速沉积。

  • 低基底温升:由于电子被有效束缚在靶材附近,减少了高能电子对基底的直接轰击损伤。

  • 出色的薄膜质量:膜层致密度高、针孔少,与基底具有极强的结合力,且可精确控制合金成分和多层膜结构。

半导体与工业应用

在半导体制造及先进封装领域,磁控溅射是不可或缺的核心工艺,广泛应用于晶圆金属化层(如 Ti/TiN、Ta/TaN 阻挡层与铜种子层)、MEMS 器件制造以及各类光学与耐磨硬质涂层。

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图纸信息
图纸ID :732
文件大小:606.35K
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软件版本:2025
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用户XY0cKu
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1 软件图标9 110 观察窗挡板.SLDDRW 179.01K
2 软件图标9 120×1800 平面靶.SLDDRW 660.96K
3 软件图标9 120×1800 靶座.SLDDRW 629.58K
4 软件图标9 15×15×50 磁铁.SLDDRW 155.94K
5 软件图标9 1800 120靶材.SLDDRW 182.01K
6 软件图标9 8号观察窗组件-BZ.SLDDRW 302.01K
7 软件图标9 8号观察窗组件.SLDDRW 591.8K
8 软件图标9 8号视镜外圈.SLDDRW 288.57K
9 软件图标9 8号视镜密封套.SLDDRW 220.35K
10 软件图标9 8号视镜水冷座.SLDDRW 286.77K
11 软件图标9 8号视镜法兰组焊.SLDDRW 213.03K
12 软件图标9 8号视镜焊接座.SLDDRW 303.05K
13 软件图标9 8号视镜连接座.SLDDRW 229.43K
14 软件图标9 8观察窗转轴.SLDDRW 199.25K
15 软件图标9 920扩散泵+冷阱.SLDDRW 212.44K
16 软件图标9 LJ.SLDDRW 248.01K
17 软件图标9 S1020转架车组件.SLDDRW 1.68M
18 软件图标9 S小推车框架.SLDDRW 782.68K
19 软件图标9 S小车轮垫板.SLDDRW 148.35K
20 软件图标9 S推车弯把手.SLDDRW 174.64K
21 软件图标9 S推车组焊.SLDDRW 329.79K
22 软件图标9 S柱塞安装座.SLDDRW 194.43K
23 软件图标9 S转架外轨道-S2.SLDDRW 197.79K
24 软件图标9 S轴承架1.SLDDRW 184.82K
25 软件图标9 S轴承架2.SLDDRW 209.14K
26 软件图标9 S轴承架3.SLDDRW 204.66K
27 软件图标9 S销轴10-60.SLDDRW 140.23K
28 软件图标9 S销轴17-30.SLDDRW 174.57K
29 软件图标9 ksb.sldasm-Part-9.SLDDRW 211.45K
30 软件图标9 www.semimodel.com1.5寸外丝.SLDPRT 107.87K
31 软件图标9 www.semimodel.com100 阀盖.SLDPRT 158.63K
32 软件图标9 www.semimodel.com100配管.SLDPRT 75.54K
33 软件图标9 www.semimodel.com110 观察窗挡板.SLDPRT 65.7K
34 软件图标9 www.semimodel.com120B带轮内圈(K28).SLDPRT 125.26K
35 软件图标9 www.semimodel.com120B带轮外圈.SLDPRT 155.14K
36 软件图标9 www.semimodel.com120B绝缘带轮.SLDASM 150.44K
37 软件图标9 www.semimodel.com120×1800 平面靶.SLDASM 790.29K
38 软件图标9 www.semimodel.com120×1800 靶座.SLDPRT 380.32K
39 软件图标9 www.semimodel.com130视镜玻璃.SLDPRT 62.9K
40 软件图标9 www.semimodel.com150波纹管.SLDPRT 2.22M
41 软件图标9 www.semimodel.com159管(粗抽口).SLDPRT 61.63K
42 软件图标9 www.semimodel.com159管和三通.SLDPRT 108.55K
43 软件图标9 www.semimodel.com159管(C13).SLDPRT 109.6K
44 软件图标9 www.semimodel.com159管(C14) - 副本.SLDPRT 74.02K
45 软件图标9 www.semimodel.com159观察窗焊管.SLDPRT 81.1K
46 软件图标9 www.semimodel.com15×15×50 磁铁.SLDPRT 52.65K
47 软件图标9 www.semimodel.com1800 120靶材.SLDPRT 60.07K
48 软件图标9 www.semimodel.com20胶圈隔环.SLDPRT 58.02K
49 软件图标9 www.semimodel.com20胶圈隔环2.SLDPRT 55.72K
50 软件图标9 www.semimodel.com20轴密封套.SLDPRT 178.09K
51 软件图标9 www.semimodel.com35门铰上.SLDASM 129.35K
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53 软件图标9 www.semimodel.com40胶圈隔环.SLDPRT 93.18K
54 软件图标9 www.semimodel.com42U单列电源柜-B.SLDPRT 15.6M
55 软件图标9 www.semimodel.com48陶瓷块.SLDPRT 54.79K
56 软件图标9 www.semimodel.com50电阀进气法兰.SLDPRT 101.16K
57 软件图标9 www.semimodel.com50电阀进气法兰2.SLDPRT 99.24K
58 软件图标9 www.semimodel.com70管2.SLDPRT 84.3K
59 软件图标9 www.semimodel.com75磁流体-S24.SLDPRT 242.32K
60 软件图标9 www.semimodel.com80B型皮带轮.SLDPRT 118.8K
61 软件图标9 www.semimodel.com8号观察窗组件.SLDASM 993.96K
62 软件图标9 www.semimodel.com8号视镜外圈.SLDPRT 167.62K
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68 软件图标9 www.semimodel.com8观察窗转轴.SLDPRT 97.86K
69 软件图标9 www.semimodel.com900关节头-H.SLDPRT 113.93K
70 软件图标9 www.semimodel.com900气缸杆压座-H.SLDPRT 100.96K
71 软件图标9 www.semimodel.com900阀上盖加强筋.SLDPRT 117.79K
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73 软件图标9 www.semimodel.com900阀芯组件SC.SLDASM 430.7K
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75 软件图标9 www.semimodel.comACKL63x90转角气缸.SLDPRT 361.6K
76 软件图标9 www.semimodel.comACQ80x80S_80.SLDPRT 268.67K
77 软件图标9 www.semimodel.comACQD40x60.SLDPRT 287.74K
78 软件图标9 www.semimodel.comBSJ1200LC-3D - 11kW 液力耦合.SLDPRT 11.57M
79 软件图标9 www.semimodel.comBSJ1200LC-3D - 11kW 液力耦合.STEP 22.24M
80 软件图标9 www.semimodel.comCJ1350磁控溅射镀膜机总装.SLDASM 40.84M
81 软件图标9 www.semimodel.comD5垫圈.SLDPRT 62.58K
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83 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 276-2013[深沟球轴承[60000]6204].sldprt 1.05M
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86 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 6728-2017[冷弯空心型钢(方形管)F80×5.0×1040]-1.SLDPRT 81.43K
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93 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 6728-2017[冷弯空心型钢(方形管)F80×5.0×500].SLDPRT 93.77K
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99 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 6728-2017[冷弯空心型钢(方形管)F80×5.0×900].SLDPRT 88.27K
100 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 6728-2017[冷弯空心型钢(方形管)F80×5.0×905].SLDPRT 88.12K
101 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 706-2008[槽钢8 1060].sldprt 77.63K
102 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 706-2008[槽钢8 380].SLDPRT 89.23K
103 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 706-2008[槽钢8 550].SLDPRT 85.76K
104 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 894.1-1986[轴用弹性挡圈A型(d0≥10)25].sldprt 80.98K
105 软件图标9 www.semimodel.comGB╱T 95-2002[平垫圈 C级18].sldprt 64.24K
106 软件图标9 www.semimodel.comGB/T276-94[深沟球轴承61800].SLDPRT 1.09M
107 软件图标9 www.semimodel.comGB/T276-94[深沟球轴承6204].SLDPRT 706.93K
108 软件图标9 www.semimodel.comGB/T77-2000[内六角平端紧定螺钉M4×16].SLDPRT 90.89K
109 软件图标9 www.semimodel.comGDQ150阀门.SLDPRT 856.83K
110 软件图标9 www.semimodel.comISO 100×150波纹管(1).SLDPRT 960.03K
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112 软件图标9 www.semimodel.comKF25法兰接头.SLDPRT 77.81K
113 软件图标9 www.semimodel.comKF40×40法兰.SLDPRT 76.3K
114 软件图标9 www.semimodel.comKF40×60 法兰.SLDPRT 76.71K
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116 软件图标9 www.semimodel.comKF40阀门.SLDPRT 200.47K
117 软件图标9 www.semimodel.comLF100法兰.SLDPRT 107.61K
118 软件图标9 www.semimodel.comLF160 法兰-C.sldprt 113.99K
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120 软件图标9 www.semimodel.comLF63 法兰-C.SLDPRT 142.18K
121 软件图标9 www.semimodel.comLJ.SLDASM 114.42K
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125 软件图标9 www.semimodel.comNMRV063蜗轮蜗杆减速机.SLDPRT 1.68M
126 软件图标9 www.semimodel.comPY9014-014 φ35铰链轴.SLDPRT 107.73K
127 软件图标9 www.semimodel.comS1020转架车组件.SLDASM 1.06M
128 软件图标9 www.semimodel.comSBASE_C-SXPKN16L.SLDPRT 53.45K
129 软件图标9 www.semimodel.comSC160X500SFA.SLDPRT 322.36K
130 软件图标9 www.semimodel.comSGB894.1-86[轴用弹性挡圈A型17].SLDPRT 95.12K
131 软件图标9 www.semimodel.comSGB/T276-94[深沟球轴承6303].SLDPRT 735.02K
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134 软件图标9 www.semimodel.comSRV630W&750W-3D(哈雷).SLDPRT 17.49M
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136 软件图标9 www.semimodel.comS小推车框架.SLDPRT 606.56K
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143 软件图标9 www.semimodel.comS脚轮35C-5寸.SLDPRT 189.05K
144 软件图标9 www.semimodel.comS转架外轨道-S2.SLDPRT 115.8K
145 软件图标9 www.semimodel.comS轴承架1.SLDPRT 87.14K
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147 软件图标9 www.semimodel.comS轴承架3.SLDPRT 106.7K
148 软件图标9 www.semimodel.comS销轴10-60.SLDPRT 65.36K
149 软件图标9 www.semimodel.comS销轴17-30.SLDPRT 78.13K
150 软件图标9 www.semimodel.comcirclips for shaft--type b gb.sldprt 127.51K
151 软件图标9 www.semimodel.comhexagon socket head cap screws gb.sldprt 888.27K
152 软件图标9 www.semimodel.comksb.SLDASM 1.89M
153 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-1.sldprt 34.7K
154 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-10.sldprt 65.43K
155 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-2.sldprt 29.7K
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157 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-4.sldprt 27.65K
158 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-5.sldprt 27.74K
159 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-6.sldprt 28.1K
160 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-7.sldprt 108.82K
161 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-8.sldprt 98.3K
162 软件图标9 www.semimodel.comksb.sldasm-Part-9.sldprt 94.01K
163 软件图标9 www.semimodel.complain washers--product grade c gb.sldprt 167.58K
164 软件图标9 www.semimodel.comspring lock washers--normal type gb.sldprt 172.58K
165 软件图标9 www.semimodel.comφ10 轴承垫圈.SLDPRT 91.13K
166 软件图标9 www.semimodel.com【DRV90 三相】.SLDPRT 8.24M
167 软件图标9 www.semimodel.com【DRV90 三相】.STEP 16.03M
168 软件图标9 www.semimodel.com中心定位组件.SLDASM 296.03K
169 软件图标9 www.semimodel.com主传动组件.SLDASM 781.36K
170 软件图标9 www.semimodel.com主腔体上板.SLDPRT 103.11K
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178 软件图标9 www.semimodel.com主腔体加强筋4.SLDPRT 40.79K
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181 软件图标9 www.semimodel.com主腔体水槽3.SLDPRT 102.54K
182 软件图标9 www.semimodel.com主腔体焊接体.SLDASM 772.62K
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187 软件图标9 www.semimodel.com传动限位导轨.SLDPRT 76.74K
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190 软件图标9 www.semimodel.com出水管绝缘套.SLDPRT 59.36K
191 软件图标9 www.semimodel.com加热器压条.SLDPRT 74.87K
192 软件图标9 www.semimodel.com加热器设计.SLDPRT 64.02K
193 软件图标9 www.semimodel.com压条2.SLDPRT 59.18K
194 软件图标9 www.semimodel.com压紧气缸组件.SLDASM 186.37K
195 软件图标9 www.semimodel.com双面水管A.SLDPRT 210.09K
196 软件图标9 www.semimodel.com固定位套.SLDPRT 126.95K
197 软件图标9 www.semimodel.com圆柱齿轮180×5.SLDPRT 966.32K
198 软件图标9 www.semimodel.com圆柱齿轮20×5.SLDPRT 240.34K
199 软件图标9 www.semimodel.com大垫片.SLDPRT 74.85K
200 软件图标9 www.semimodel.com大门上屏蔽罩1.SLDPRT 260.61K
201 软件图标9 www.semimodel.com大门上屏蔽罩2.SLDPRT 95.17K
202 软件图标9 www.semimodel.com大门下屏蔽罩1.SLDPRT 182.4K
203 软件图标9 www.semimodel.com大门侧屏蔽罩.SLDPRT 166.59K
204 软件图标9 www.semimodel.com大门屏蔽罩1.SLDPRT 96.17K
205 软件图标9 www.semimodel.com大门门框.SLDPRT 97.34K
206 软件图标9 www.semimodel.com夹具板组件.SLDASM 72K
207 软件图标9 www.semimodel.com密封驱动.SLDASM 286K
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247 软件图标9 www.semimodel.com氟胶圈 50-100.SLDPRT 154.21K
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254 软件图标9 www.semimodel.com焊接角铁.SLDPRT 69.14K
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259 软件图标9 www.semimodel.com电磁真空充气阀50A.SLDPRT 162.38K
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280 软件图标9 www.semimodel.com精粗切换管道.SLDASM 191.44K
281 软件图标9 www.semimodel.com线槽1.SLDPRT 47.56K
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284 软件图标9 www.semimodel.com维持泵接头组件2.SLDASM 80.14K
285 软件图标9 www.semimodel.com维持管道.SLDASM 159.79K
286 软件图标9 www.semimodel.com罗茨泵上管.SLDPRT 71.99K
287 软件图标9 www.semimodel.com罗茨泵上连接管.SLDASM 129.04K
288 软件图标9 www.semimodel.com罗茨泵固定焊接法兰.SLDPRT 55.17K
289 软件图标9 www.semimodel.com罗茨泵连接法兰1.SLDPRT 96.33K
290 软件图标9 www.semimodel.com胶圈压盖-H.SLDPRT 98.2K
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293 软件图标9 www.semimodel.com腔体中侧屏蔽罩2.SLDPRT 67.84K
294 软件图标9 www.semimodel.com腔体侧加强筋.SLDPRT 60.3K
295 软件图标9 www.semimodel.com腔体侧屏蔽罩.SLDPRT 67.43K
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297 软件图标9 www.semimodel.com腔体内侧屏蔽罩2.SLDPRT 77.06K
298 软件图标9 www.semimodel.com腔体前侧屏蔽罩1.SLDPRT 85.18K
299 软件图标9 www.semimodel.com腔体前侧屏蔽罩2.SLDPRT 86.19K
300 软件图标9 www.semimodel.com腔体后水带.SLDPRT 146.85K
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302 软件图标9 www.semimodel.com腔体连接焊接座.SLDPRT 64.85K
303 软件图标9 www.semimodel.com螺钉绝缘套.SLDPRT 58.49K
304 软件图标9 www.semimodel.com规管座.SLDPRT 102.07K
305 软件图标9 www.semimodel.com规管座焊接管.SLDPRT 136.67K
306 软件图标9 www.semimodel.com视镜圆压盖.SLDPRT 110.81K
307 软件图标9 www.semimodel.com视镜轴套.SLDPRT 84.55K
308 软件图标9 www.semimodel.com调节固定网板.SLDPRT 431.2K
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314 软件图标9 www.semimodel.com调节阀方螺母.SLDPRT 101.26K
315 软件图标9 www.semimodel.com调节阀法兰筒.SLDPRT 84.67K
316 软件图标9 www.semimodel.com调节阀组件.SLDASM 522.13K
317 软件图标9 www.semimodel.com车轮侧板 A.SLDPRT 90.05K
318 软件图标9 www.semimodel.com车轮垫圈.SLDPRT 81.38K
319 软件图标9 www.semimodel.com车轮轴.SLDPRT 92.05K
320 软件图标9 www.semimodel.com轨道螺钉绝缘套.SLDPRT 73.63K
321 软件图标9 www.semimodel.com转架.SLDASM 4.9M
322 软件图标9 www.semimodel.com转架上支撑板.SLDPRT 80.61K
323 软件图标9 www.semimodel.com转架内轨道.SLDPRT 153.32K
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325 软件图标9 www.semimodel.com转架支撑组件.SLDASM 984.29K
326 软件图标9 www.semimodel.com转架支撑轴.SLDPRT 145.68K
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328 软件图标9 www.semimodel.com转角缸固定块.SLDPRT 107.03K
329 软件图标9 www.semimodel.com转齿轮定位轴.SLDPRT 152.42K
330 软件图标9 www.semimodel.com边压条.SLDPRT 88.94K
331 软件图标9 www.semimodel.com边压条2.SLDPRT 83.56K
332 软件图标9 www.semimodel.com连接固定板.SLDPRT 125.45K
333 软件图标9 www.semimodel.com铜背板.SLDPRT 220.82K
334 软件图标9 www.semimodel.com铰链带肩铜套.SLDPRT 68.01K
335 软件图标9 www.semimodel.com铰链管座.SLDPRT 99.81K
336 软件图标9 www.semimodel.com镀膜夹具板.SLDPRT 63.16K
337 软件图标9 www.semimodel.com镀膜夹具连接板.SLDPRT 70.76K
338 软件图标9 www.semimodel.com镜向48陶瓷块.SLDPRT 37.15K
339 软件图标9 www.semimodel.com镜向内轨道组件.SLDASM 137.52K
340 软件图标9 www.semimodel.com镜向绝缘套盖.SLDPRT 33.54K
341 软件图标9 www.semimodel.com镜向轨道螺钉绝缘套.SLDPRT 37.92K
342 软件图标9 www.semimodel.com镜向转架内轨道.SLDPRT 172.38K
343 软件图标9 www.semimodel.com镜向陶瓷护罩.SLDPRT 57.17K
344 软件图标9 www.semimodel.com门铰座.SLDPRT 144.84K
345 软件图标9 www.semimodel.com阀上密封套.SLDPRT 109.95K
346 软件图标9 www.semimodel.com阀片连接板.SLDPRT 115.15K
347 软件图标9 www.semimodel.com限位导轨等高套.SLDPRT 88.66K
348 软件图标9 www.semimodel.com限位感应杆.SLDPRT 90.17K
349 软件图标9 www.semimodel.com陶瓷护罩.SLDPRT 100.22K
350 软件图标9 www.semimodel.com靶下背板.SLDPRT 129.07K
351 软件图标9 www.semimodel.com靶侧背板2.SLDPRT 140.67K
352 软件图标9 www.semimodel.com靶侧背板3.SLDPRT 97.4K
353 软件图标9 www.semimodel.com靶安装方法兰.SLDPRT 324.04K
354 软件图标9 www.semimodel.com靶座法兰.SLDPRT 143.79K
355 软件图标9 www.semimodel.com驱动密封绝缘垫.SLDPRT 105.63K
356 软件图标9 www.semimodel.com驱动密封绝缘套SMD.SLDPRT 71.13K
357 软件图标9 www.semimodel.com骨架油封10×19×5.SLDPRT 86.54K
358 软件图标9 www.semimodel.com高阀上下水槽.SLDPRT 68.69K
359 软件图标9 www.semimodel.com高阀上板.SLDPRT 188.24K
360 软件图标9 www.semimodel.com高阀下板.SLDPRT 174.73K
361 软件图标9 www.semimodel.com高阀侧水槽-2.SLDPRT 77.47K
362 软件图标9 www.semimodel.com高阀侧水槽.SLDPRT 81.7K
363 软件图标9 www.semimodel.com高阀焊接.SLDASM 518.28K
364 软件图标9 φ10 轴承垫圈.SLDDRW 196.98K
365 软件图标9 出水管绝缘套.SLDDRW 176.65K
366 软件图标9 导电柱-13.SLDDRW 216.23K
367 软件图标9 屏蔽条-2.SLDDRW 142.62K
368 软件图标9 屏蔽条.SLDDRW 143.8K
369 软件图标9 接线柱密封套.SLDDRW 234.15K
370 软件图标9 接线柱焊母.SLDDRW 150.64K
371 软件图标9 接线柱绝缘套.SLDDRW 141.18K
372 软件图标9 水套板.SLDDRW 324.77K
373 软件图标9 水排2H1-36.SLDDRW 442.6K
374 软件图标9 水管密封套 M.SLDDRW 263.13K
375 软件图标9 焊接出水管.SLDDRW 194.24K
376 软件图标9 磁钢吸板.SLDDRW 184.08K
377 软件图标9 磁钢定位板.SLDDRW 185.09K
378 软件图标9 绝缘连接座.SLDDRW 214.85K
379 软件图标9 视镜圆压盖.SLDDRW 187.82K
380 软件图标9 视镜轴套.SLDDRW 169.85K
381 软件图标9 边压条.SLDDRW 197.79K
382 软件图标9 边压条2.SLDDRW 210.38K
383 软件图标9 连接固定板.SLDDRW 236.88K
384 软件图标9 铜背板.SLDDRW 190.09K
385 软件图标9 铰链带肩铜套.SLDDRW 138.08K
386 软件图标9 靶下背板.SLDDRW 211.1K
387 软件图标9 靶侧背板2.SLDDRW 229.27K
388 软件图标9 靶侧背板3.SLDDRW 194.79K
389 软件图标9 靶安装方法兰.SLDDRW 606.35K