开发大型 OLED 沉积设备有机/无机沉积系统、沉积源和有机充电源技术，能够进行生产第八代（2,200mm × 2,500mm）白色 OLED 所需的材料补充 。
规格： 2200mm × 2500mm第八代电路板
真空度： 5E-7 托。达到 3E-7 托， 目标值为。
恒定输送速度： 最高可达 100 毫米/秒（实际生产中运行速度为 36~40 毫米/秒）
节拍时间： 实际用时 77 秒 → ，目标是 80 秒或更短（基于全线构建转化率）
连续运行时间： 超过目标 14 天 $\rightarrow$
有机薄膜厚度不均匀性： 在同步沉积过程中，与目标值 $\pm 3\%$ 或更低相比，达到了 $\rightarrow$ 和 pm 1.88 \sim 1.96%$ 。
有机材料利用效率： 达到 60% 或 rightarrow$ 71.27%-60% 或更高（有助于降低材料成本）
基底温度变化 ( $\Delta T$ ): 与有机沉积过程中目标值 $7^\circ\text{C}$ 或更低相比，实现了 $\rightarrow$ $4.9^\circ\text{C}$ 的值。
金属膜厚度不均匀性： 达到 $\rightarrow$ 和 $\pm 2.26\% \sim 2.5\%$±5% 或更低。
基板支撑式静电吸盘（ESC）： 已完成至第 8 代（2,200mm × 1,250mm）级的生产，确保挠度小于 1mm，并可实现 24 小时吸盘维护性能。
组件照明评估： 已完成验证，与委托机构制造的组件相比，其特性无显著差异，最大差异为 $\pm 4.74\%$ ，组件照明效率为 156 cd/A （达到 100 cd/A 或更高的目标）。
可充电有机蒸发源（再充电源）： 采用 900cc 容量的钛 (Ti) 坩埚，该设计可实现有机材料的周期性再充电，而不会造成真空破损，从而提高工艺自由度。
共沉积系统： 为了在同时沉积主体和掺杂剂时保持高度均匀性，构建了一个 2,700 毫米长的线性管和喷嘴组合蒸发源，并通过模拟进行了优化。
自动金属材料送料器： 通过集成一个能够定期自动向高温金属蒸发源供应精确量（1 克/次或更多）金属材料的系统，保证了长期连续运行的稳定性。
