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资料包括：精密XY工作台技术开发技术报告，各种精度补偿和测量技术汇总，非常的详细，都是符合实际项目的资料，不是那种理论！十分有价值！
要想设计高精密半导体设备，必须知道精度如何正确测量！只是高精度设备的核心地基！
