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半导体设备用高刚性机架
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图纸预览图
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图纸描述

采用高刚性设计,十分的详细!考虑到了钣金的加工工艺!机架采用低重心加厚和优化分析的底座架构,以及采用减震器的设计来对设备的振动隔离!可以直接应用在晶圆键合,晶圆检测,先进封装等对振动有要求的半导体设备!

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图纸信息
图纸ID :285
文件大小:10.09M
所需金币:3
图纸参数:可编辑,不包含特征参数
图纸格式:STEP
软件版本:2020
作者
用户XY0cKu
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1 软件图标9 半导体设备机架/www.semimodel.com半导体机架.stp 61.06M
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