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牛津仪器Oxford 单片式等离子设备技术手册
首页 >半导体设备资料 >晶圆制造:镀膜-PVD-CVD 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

牛津仪器经典模块化单片式等离子设备,全平台最大兼容≤200mm(8 英寸)晶圆,主打实验室研发 + 中小批量试产,模块化腔体可自由选配刻蚀 / 沉积 / ALD 腔,是国内高校、三代半研究所标配机型