静电卡盘(ESC, Electrostatic Chuck / E-Chuck)是半导体前道设备(刻蚀、PVD、CVD、离子注入)里的核心精密陶瓷部件,用来在高真空 / 等离子体环境下无机械应力、均匀、洁净地吸住晶圆,并承担精确控温 + 背面氦气冷却功能。
刻蚀(Etch):导体 / 介质刻蚀,等离子体强、温度高,必用 ESC。
PVD/CVD:薄膜沉积,均匀控温要求高。
离子注入(Implant):高温(400–600℃)、强束流,需耐高温 ESC。
先进封装:超薄晶圆、临时键合、2.5D/3D制程。