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Disco划片机设备手册和技术资料-各种型号
首页 >半导体设备资料 >晶圆切割:划片-切割 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

日本 DISCO晶圆切割机全套详细手册资料:机械爆炸图。电气图,各种手册,技术资料!50多份,十分有价值!


一、定位与用途

  • 设备类型:对向式双主轴(Facing Dual Spindle)全自动划片机

  • 加工对象:8/12 英寸硅晶圆、玻璃、陶瓷、蓝宝石、金属 / 树脂复合基板

  • 典型应用:常规硅片切割、功率器件、存储器、MEMS、普通封装(非 Low‑k / 超薄)

  • 工艺路线:金刚石刀片 + 水冷切割,属于传统但成熟的 “刀切”,非激光。

核心特点

  1. 双主轴高效:对向布局、间距短,双刀并行,产能比单主轴高约40–50%,比前代↑7%

  2. 高精度稳定:空气轴承主轴、高刚性床身、闭环控制,±2μm 级定位

  3. 全自动高稼动:ABC 换刀、自动磨刀、视觉对准、碎片检测,适合 24h 量产

  4. 成熟可靠、成本低:刀切工艺稳定、良率高、维护成本低于激光;适合大批量、非超薄 / 非 Low‑k

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资料信息
资料ID :256
文件大小:190.36M
资料格式:pdf
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