Veeco（维易科）系列的 GaN MOCVD 设备，2010 年推出，LED 量产经典机型，主打高产能、高良率、低成本，用于蓝 / 绿 LED、功率器件、VCSEL等 GaN 基外延。
品牌 / 型号：Veeco TurboDisc K465i（K‑Series 平台）
核心用途：GaN 基外延（蓝宝石 / 硅 / 碳化硅衬底）
晶圆尺寸：2 寸、4 寸、6 寸（可升级 8 寸）
核心市场：高亮 LED（HB‑LED）量产，兼容功率器件（HEMT/MOSFET）
石墨托盘（SiC 涂层），高速旋转（~1000 rpm），保证片内均匀性
加热：多区红外灯 + SiC 涂层石墨加热器，温控 **±1°C**，最高1200°C
垂直进气 + 分流整流，层流均匀，颗粒污染极低快速切换气体 / 掺杂，界面陡峭（适合 MQW 多量子阱）
全自动机械手，单炉41 片 ×2 寸 / 12 片 ×4 寸 / 6 片 ×6 寸
维护后一次运行恢复（One‑Run Recovery），高稼动率（>95%）
| 参数 | K465i 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 生长温度 | 950–1150°C | GaN/InGaN/AlGaN 通用 |
| 工作压力 | 10–200 Torr | 低压提升均匀性 |
| 产能（2 寸） | ~120 片 / 天 | 行业领先 |
| 良率（5nm bin） | ≈90% | 波长均匀性优秀Veeco Instruments Inc. |
| 片内厚度均匀性 | <1.5% | MQW 厚度精准 |
| 掺杂范围 | n 型（Si）、p 型（Mg） | 浓度可控 1e16–1e20 cm⁻³ |
蓝 / 绿光 LED：手机背光、照明、显示屏（主流）
功率器件：GaN HEMT（快充 / 基站）、GaN MOSFET
光电子：VCSEL、激光二极管（LD）、紫外 LED
