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ASMPT AD9212固晶机全套手册
首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

ASMPT AD9212(高端双头倒装固晶机)是 ASMPT 面向高引脚数 FC、2.5D/3D、高端 BGA双头高速倒装(Flip Chip)专用固晶机 **,主打超高精度、极致产能、先进封装量产,是 ASMPT 倒装封装的旗舰机型。

  • 适用封装高引脚数 BGA、2.5D/3D IC、Chiplet、HBM、CPU/GPU、高端光模块

  • 核心工艺锡球倒装焊、凸点键合、热压键合(TCB)、助焊剂浸蘸


技术特性

  1. 双头并行双焊头独立运动,产能碾压单头,适合大规模 FC 量产

  2. 纳米级精度±2μm+3D 视觉,满足 2.5D/3D、HBM 等高要求

  3. 全工艺兼容锡球 / 凸点 / TCB / 助焊剂一键切换,覆盖高端 FC 全场景

  4. 超大基板适配300mm 晶圆 + Panel,支持大尺寸 Chiplet 异构集成

  5. 智能良率管控AI 视觉全检 + 实时反馈,良率≥99.95%

关键技术规格

  • 贴装精度XY ±2 μm @3σ;旋转 ±0.15° @3σ(高端 FC 标杆)

  • 产能8,000–12,000 UPH(双头并行),比单头高 60%+

  • 基板 / 晶圆:最大 300 mm 晶圆 / 超大基板,支持 Panel 级

  • 芯片尺寸1×1 mm ~ 30×30 mm(超薄 50 μm–5 mm)

  • 键合力100–1,000 g(适配大尺寸 / 高凸点 FC)

  • 视觉系统四相机 3D 视觉 + 激光共焦,凸点 / 锡球全检

  • 焊头双头独立驱动 + 龙门结构,并行作业,换型快

  • 尺寸(W×D×H)2,800 × 1,800 × 2,100 mm

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资料信息
资料ID :242
文件大小:46.71M
资料格式:pdf
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