这是一台半导体后端封测类设备,对芯片进行测试和分选!采用转塔式设计,产量在40K左右!成熟稳定!图纸可以编辑有建模参数!十分有价值!对研究和学习半导体设备的朋友可以直接使用!图纸为优化后的终版,无论是材料,加工还是成本都是最优的
!
转塔式测试分选机是半导体后道封装高速终测与分选的核心设备,采用中心转塔 + 环形工位布局,以直驱 / 伺服转塔带动吸嘴,在 12–24 个工位间步进,一气呵成完成上料、检测、测试、打标、分选、编带,主打超高 UPH(30–60K)、高精度(±5–10 μm)、小占地,是 SOT/SOP/QFN/DFN 等小型片式器件的主流量产方案。
一、核心原理与流程
原理:中心主转盘(转塔)由高精度直驱电机驱动,每步旋转 15°–30°,带动12–24 个独立吸嘴,将芯片依次送至环形均布的各功能工位,同步并行作业,效率远高于直线式。
标准流程(顺时针):
上料:振动盘 / 管送上料→定向排序→吸嘴拾取
视觉检测:6 面外观 / 极性 / Mark 点 / 3D 尺寸检测
电性能测试:ATE 对接→电性参数测试(最多 6 站并行)
打标:激光打标→打标视觉复检
分选:按良 / 不良 / 等级分类→不良品回收
编带包装:良品载带 / 盖带封装→收料
![image]()
二、机械结构(五大核心组件)
转塔驱动单元(心脏)
直驱电机(DDR):无减速箱,响应快(18–22 ms / 步)、低振动、高定位精度(±5 μm)
转盘:铝合金 / 陶瓷,18–24 工位,圆周均布
吸嘴组件:真空吸附 + 屏蔽 + 高度自动校正,适配 1×1 mm–6×6 mm 芯片
![image]()
上料系统
振动盘(定向排序)+ 直线送料轨 + 真空吸嘴
可选:管送上料、飞达上料(适配不同封装)
检测单元(视觉 + 电性)
视觉:6 面相机 + AI 算法,检测崩边、划痕、极性、文字、3D 翘曲
电性测试站:最多 6 个并行测试站,探针卡对接 ATE,测 Vf/Ir/ 电容 / 耐压等
打标单元
光纤 / 紫外激光打标(字符 / 二维码)
打标后视觉复检,确保清晰、无偏移
分选与编带单元
高速分流机构:按测试结果分良品、A/B/C 级、不良品
编带机:热压 / 冷压载带包装,适配 8/12/16/24 mm 载带
三、关键技术参数(行业主流)
| 参数 | 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 工位数量 | 16/18/24 | 越多效率越高,成本上升 |
| 产能 UPH | 30K–60K | 每小时处理芯片数量 |
| 定位精度 | ±5–10 μm | 吸嘴重复定位误差 |
| 单步时间 | 18–22 ms | 转塔旋转 + 吸嘴动作 |
| 测试时间 | 35–60 ms / 站 | 电性测试时长 |
| 芯片尺寸 | 1×1–6×6 mm | 适配主流分立器件 / 小 IC |
| 良率 | ≥99.95% | 低碎片、低掉料 |
| 故障停机率 | <0.1% | Jam Rate,稳定性指标 |
四、核心优势(vs 直线式 / 往复式分选机)
效率碾压:多工位并行,UPH 是直线式的 2–3 倍(直线约 10–20K,转塔 30–60K)
占地极小:环形布局,面积仅为直线式的 1/3–1/2,适合洁净室空间优化
精度更高:直驱 + 凸轮驱动,运动平稳、振动小、定位准,适配 QFN/DFN 等高精度封装
柔性强:模块化设计,快速切换产品(15–30 min),适配多品种小批量
成本优:高产能摊薄单颗成本,长期运营成本低于直线式
五、典型应用场景
分立器件:SOT-23/SOD-123/DO-214(二极管 / 三极管 / MOSFET)
小型 IC:QFN/DFN(2×2–6×6 mm)、WLCSP、传感器芯片
光电子:LED、VCSEL、光探测器(6 面外观 + 电性测试)
汽车电子:AEC-Q100/Q104 器件(高可靠测试 + 打标追溯)
最后选型要点
产能需求:30K 以下选 16 工位,30–50K 选 18 工位,50K + 选 24 工位
封装类型:SOT/SOD 选标准机型,QFN/DFN 选高精度视觉 + 屏蔽测试
测试站数量:常规 3–4 站,多参数测试选 6 站并行
稳定性:优先DDR 直驱、低振动设计,关注 Jam Rate <0.1%

